-EL7031/7037/7041/7047
2축 서보드라이브 : 100W~400W
Panasonic모터 사용가능
200V:100W~15kW
400V:1k~15kW
DC48V:3A/6A
50W~15kW
40각~220각
3000/2000/1500/1000rpm
Wafer 챔버용 고속 스핀들 서보 모터
8인치, 12인치 사용 가능
API 라이브러리 제공(C#, C++, VB)
WIndows 7/10지원
DI:32점
DO:32점
DI/DO:16점/16점
AD/DA:8점/4점